Назначение

Используется в качестве исходного сырья для газофазного осаждения карбида кремния при изготовлении композиционных материаллов, а так же в процессе получения фоторезистов и других полупроводниковых материалов.

Описание разработки

Разработана уникальная технология получения метилсилана на дешевом отечественном сырье.