Cl3SiCClºCCl2 Si1C2Cl6
| Наименование
показателей |
Характеристика
или норма |
Методы испытаний |
| Внешний вид, цвет | Прозрачная жидкость от бесцветного до светложелтого цвета | ГОСТ 20841.1-75 |
| Запах | Резкий запах
(обусловлен выделением хлористого водорода) |
ГОСТ 20841.1-75 |
| Содержание основного вещества %, не менее | 97 | ГОСТ 20841.7-75
ГОСТ 20841.8-79 |
Основные физико-химические свойства:
Температура кипения — 189-191°С
Показатель преломления (ЯD20) — 1,5186
Плотность (d420) — 1,6766
При контакте с водой имеет место бурная реакция гидролиза Si-Cl-связей, сопровождающаяся выделением хлористого водорода.
Области применения: Может использоваться для получения фоторезистного материала двойного действия.
Возможно применение в качестве модификатора элементоорганических олигомеров и полимеров (для введения в структуру силоксановых звеньев с перхлорвинильными группами).
Примеры применения
— в лабораторных условиях получены твердые, растворимые, стабильные при хранении силсесквиоксаны (Cl2C=CClSiO1.5)n, пригодные для использования в качестве фоторезистного материала позитивного либо негативного типа в зависимости от технологии формирования резистного изображения.