Перхлорвинилтрихлорсилан

Cl₃SiCClºCCl₂ Si₁C₂Cl₆

Наименование показателей	Характеристика или норма	Методы испытаний
Внешний вид, цвет	Прозрачная жидкость от бесцветного до светложелтого цвета	ГОСТ 20841.1-75
Запах	Резкий запах (обусловлен выделением хлористого водорода)	ГОСТ 20841.1-75
Содержание основного вещества %, не менее	97	ГОСТ 20841.7-75 ГОСТ 20841.8-79

Основные физико-химические свойства:

Температура кипения - 189-191°С

Показатель преломления (Я_D²⁰) - 1,5186

Плотность (d₄²⁰) - 1,6766

При контакте с водой имеет место бурная реакция гидролиза Si-Cl-связей, сопровождающаяся выделением хлористого водорода.

Области применения: Может использоваться для получения фоторезистного материала двойного действия.

Возможно применение в качестве модификатора элементоорганических олигомеров и полимеров (для введения в структуру силоксановых звеньев с перхлорвинильными группами).

Примеры применения

- в лабораторных условиях получены твердые, растворимые, стабильные при хранении силсесквиоксаны (Cl₂C=CClSiO_1.5)_n, пригодные для использования в качестве фоторезистного материала позитивного либо негативного типа в зависимости от технологии формирования резистного изображения.