English (United Kingdom)Russian (CIS)
Баннер
PDF Печать

Метилсилан ОСЧ


Назначение


Используется в качестве исходного сырья для газофазного осаждения карбида кремния при изготовлении композиционных материаллов, а так же в процессе получения фоторезистов и других полупроводниковых материалов.

Описание разработки


Разработана уникальная технология получения метилсилана на дешевом отечественном сырье.